Silikoni carbide ceramic tray sucker Silikoni carbide ceramic chubu imapereka kutentha kwambiri sintering custom processing
Zinthu zazikulu:
1. Thireyi ya ceramic ya silicon carbide
- Kulimba kwambiri komanso kukana kuvala: kulimba kwake kuli pafupi ndi diamondi, ndipo kumatha kupirira kuwonongeka kwa makina pokonza wafer kwa nthawi yayitali.
- Kutentha kwambiri komanso kutsika kwa kutentha: kutentha kumataya mwachangu komanso kukhazikika kwa mawonekedwe, kupewa kusintha komwe kumachitika chifukwa cha kupsinjika kwa kutentha.
- Kusalala kwambiri komanso kutha kwa pamwamba: Kusalala kwa pamwamba kumakhala kofanana ndi micron, zomwe zimapangitsa kuti chivundikirocho chigwirizane bwino ndi diski, zomwe zimachepetsa kuipitsidwa ndi kuwonongeka.
Kukhazikika kwa mankhwala: Kukana dzimbiri mwamphamvu, koyenera kutsukidwa ndi kudulidwa mwachinyontho komanso njira zodulira zinthu zomwe zimagwiritsidwa ntchito popanga zinthu za semiconductor.
2. Chitoliro cha ceramic cha silicon carbide
- Kukana kutentha kwambiri: Itha kugwira ntchito pamalo otentha kwambiri kuposa 1600°C kwa nthawi yayitali, yoyenera kugwiritsa ntchito kutentha kwambiri kwa semiconductor.
Kukana dzimbiri bwino kwambiri: kukana zidulo, alkali ndi mitundu yosiyanasiyana ya mankhwala osungunulira, oyenera malo ovuta kwambiri.
- Kulimba kwambiri ndi kukana kuvala: kukana kukokoloka kwa tinthu tating'onoting'ono ndi kuvala kwa makina, kukulitsa moyo wautumiki.
- Kutentha kwambiri komanso kuchuluka kochepa kwa kutentha: kutentha mwachangu komanso kukhazikika kwa mawonekedwe, kuchepetsa kusintha kapena ming'alu yomwe imachitika chifukwa cha kupsinjika kwa kutentha.
Chizindikiro cha Mankhwala:
Chizindikiro cha thireyi ya silicon carbide ceramic:
| (Katundu wa zinthu) | (Chigawo) | (ssic) | |
| (Zomwe zili mu SiC) | (Kulemera)% | >99 | |
| (Kukula kwa tirigu wapakati) | maikuloni | 4-10 | |
| (Kuchulukana) | kg/dm3 | >3.14 | |
| (Kuoneka ngati porosity) | Vo1% | <0.5 | |
| (Kuuma kwa Vickers) | HV 0.5 | GPa | 28 |
| *() Mphamvu yopindika* (mfundo zitatu) | 20ºC | MPa | 450 |
| (Mphamvu yokakamiza) | 20ºC | MPa | 3900 |
| (Modulus Yotanuka) | 20ºC | GPa | 420 |
| (Kulimba kwa kusweka) | MPa/m'% | 3.5 | |
| (Kutentha kwa kutentha) | 20°ºC | W/(m*K) | 160 |
| (Kulimba mtima) | 20°ºC | Ohm.cm | 106-108 |
(Kuchuluka kwa kutentha) | a(RT**...80ºC) | K-1*10-6 | 4.3 |
(Kutentha kwakukulu kogwirira ntchito) | oºC | 1700 | |
Chizindikiro cha chubu cha ceramic cha silicon carbide:
| Zinthu | Mndandanda |
| α-SIC | Mphindi 99% |
| Kuoneka ngati Porosity | 16% payokha |
| Kuchuluka Kwambiri | 2.7g/cm3 mphindi |
| Mphamvu Yopindika Pakutentha Kwambiri | Mphindi 100 Mpa |
| Kuchuluka kwa Kutentha kwa Kutentha | K-1 4.7x10 -6 |
| Koyefishienti ya Kutentha kwa Matenthedwe (1400ºC) | 24 W/mk |
| Kutentha Kwambiri Kogwira Ntchito | 1650ºC |
Ntchito zazikulu:
1. Mbale ya ceramic ya silicon carbide
- Kudula ndi kupukuta wafer: kumagwira ntchito ngati nsanja yolumikizira kuti zitsimikizire kulondola kwambiri komanso kukhazikika panthawi yodula ndi kupukuta.
- Njira yojambulira: Wafer imakhazikika mu makina ojambulira kuti iwonetsetse kuti ili pamalo olondola kwambiri panthawi yowonekera.
- Kupukuta kwa Makina Opangira Mankhwala (CMP): kumagwira ntchito ngati nsanja yothandizira mapepala opukuta, kupereka mphamvu yofanana komanso kugawa kutentha.
2. Chitoliro cha ceramic cha silicon carbide
- Chitoliro cha ng'anjo yotentha kwambiri: chimagwiritsidwa ntchito pa zipangizo zotentha kwambiri monga ng'anjo yofalikira ndi ng'anjo yotenthetsera kuti chinyamule ma wafers kuti agwiritsidwe ntchito pochiza kutentha kwambiri.
- Njira ya CVD/PVD: Monga chubu cholumikizira zinthu m'chipinda chochitira zinthu, cholimba ku kutentha kwambiri komanso mpweya wowononga.
- Zowonjezera za zida za semiconductor: za zosinthira kutentha, mapaipi a gasi, ndi zina zotero, kuti ziwongolere bwino kayendetsedwe ka kutentha kwa zida.
XKH imapereka ntchito zosiyanasiyana zomwe zimaperekedwa pa mathireyi a ceramic a silicon carbide, makapu okoka ndi machubu a ceramic a silicon carbide. Mathireyi a ceramic a silicon carbide ndi makapu okoka, XKH ikhoza kusinthidwa malinga ndi zosowa za makasitomala amitundu yosiyanasiyana, mawonekedwe ndi kuuma kwa pamwamba, ndikuthandizira chithandizo chapadera chopaka utoto, kuwonjezera kukana kuwonongeka ndi kukana dzimbiri; Pa machubu a ceramic a silicon carbide, XKH ikhoza kusintha mitundu yosiyanasiyana ya mainchesi amkati, mainchesi akunja, kutalika ndi kapangidwe kovuta (monga chubu chooneka ngati chubu kapena chubu choboola), ndikupereka kupukuta, chophimba chotsutsana ndi okosijeni ndi njira zina zochizira pamwamba. XKH imawonetsetsa kuti makasitomala amatha kugwiritsa ntchito bwino phindu la zinthu za ceramic za silicon carbide kuti akwaniritse zofunikira zofunika kwambiri m'magawo opanga apamwamba monga ma semiconductors, ma LED ndi ma photovoltaics.
Chithunzi Chatsatanetsatane
