Silicon carbide ceramic tray sucker Silicon carbide ceramic chubu imapereka kutentha kwa sintering custom processing
Zofunikira zazikulu:
1. Silikoni carbide ceramic tray
- Kuuma kwakukulu komanso kukana kuvala: kuuma kuli pafupi ndi diamondi, ndipo kumatha kupirira kuvala kwamakina mukupanga kwanthawi yayitali.
- Kutentha kwapamwamba kwambiri komanso kutsika kwamafuta owonjezera: kutentha kwachangu komanso kukhazikika kwa mawonekedwe, kupewa kupunduka komwe kumachitika chifukwa cha kupsinjika kwamafuta.
- Kutsika kwakukulu komanso kutha kwa pamwamba: Kutsika kwapamtunda kumafika pamlingo wa micron, kuwonetsetsa kulumikizana kwathunthu pakati pa chowotcha ndi diski, kuchepetsa kuipitsidwa ndi kuwonongeka.
Kukhazikika kwa Chemical: Kukana kwamphamvu kwa dzimbiri, koyenera kuyeretsa konyowa ndi njira zomangira popanga semiconductor.
2. Silikoni carbide ceramic chubu
- Kukana kutentha kwakukulu: Imatha kugwira ntchito m'malo otentha kwambiri kuposa 1600 ° C kwa nthawi yayitali, yoyenera semiconductor kutentha kwambiri.
Kukana kwabwino kwa dzimbiri: kugonjetsedwa ndi ma acid, alkalis ndi mitundu yosiyanasiyana ya zosungunulira zamankhwala, zoyenera madera ovuta.
- Kuuma kwakukulu komanso kukana kuvala: kukana kukokoloka kwa tinthu ndi kuvala kwamakina, kukulitsa moyo wautumiki.
- Kutentha kwapamwamba kwambiri komanso kuchepa kwa mphamvu yowonjezera kutentha: kuthamanga kwachangu kwa kutentha ndi kukhazikika kwa mawonekedwe, kuchepetsa kusinthika kapena kusweka chifukwa cha kupsinjika kwa kutentha.
Product Parameter:
Silicon carbide ceramic tray parameter:
(Katundu) | (Chigawo) | (sizika) | |
(Zinthu za SiC) | (Wt)% | > 99 | |
(Avereji ya kukula kwambewu) | micron | 4-10 | |
(Kuchulukana) | kg/dm3 | > 3.14 | |
(Kuwoneka kwa porosity) | Vo1% | <0.5 | |
(Vickers kuuma) | HV 0.5 | GPA | 28 |
*() Flexural mphamvu * (mfundo zitatu) | 20ºC | MPa | 450 |
(Compressive mphamvu) | 20ºC | MPa | 3900 pa |
(Elastic Modulus) | 20ºC | GPA | 420 |
(Kulimba kwa fracture) | MPa/m'% | 3.5 | |
(Thermal conductivity) | 20°C | W/(m*K) | 160 |
(Kukana) | 20°C | Om.cm | 106-108 |
(Chiwongolero chowonjezera cha kutentha) | a(RT**...80ºC) | K-1*10-6 | 4.3 |
(Kutentha kwambiri kwa ntchito) | oºC | 1700 |
Silicon carbide ceramic chubu parameter:
Zinthu | Mlozera |
α-SIC | 99% mphindi |
Kuwoneka kwa Porosity | 16% max |
Kuchulukana Kwambiri | 2.7g/cm3 mphindi |
Kupindika Mphamvu pa Kutentha Kwambiri | 100 Mpa min |
Coefficient of Thermal Expansion | K-1 4.7x10 -6 |
Coefficient of Thermal Conductivity (1400ºC) | 24 W/mk |
Max. Kutentha kwa Ntchito | 1650ºC |
Ntchito zazikulu:
1. Silicon carbide ceramic mbale
- Kudula ndi kupukuta kwa Wafer: kumagwira ntchito ngati nsanja yotsimikizira kulondola komanso kukhazikika panthawi yodula ndi kupukuta.
- Njira ya Lithography: Chophikacho chimakhazikika pamakina amtundu wa lithography kuti muwonetsetse kuyika bwino kwambiri panthawi yowonekera.
- Chemical Mechanical Polishing (CMP) : imagwira ntchito ngati nsanja yothandizira kupukuta mapepala, kupereka kuthamanga kwa yunifolomu ndi kugawa kutentha.
2. Silikoni carbide ceramic chubu
- Chubu cha ng'anjo yotentha kwambiri: chimagwiritsidwa ntchito pazida zotentha kwambiri monga ng'anjo yothirira ndi ng'anjo ya okosijeni kunyamula zowotcha zopangira kutentha kwambiri.
- Njira ya CVD/PVD: Monga chubu chonyamula m'chipinda chochitiramo, chosagwirizana ndi kutentha kwambiri komanso mpweya wowononga.
- Zida za zida za semiconductor: zosinthira kutentha, mapaipi amafuta, ndi zina zambiri, kupititsa patsogolo kayendetsedwe kabwino ka zida.
XKH imapereka ntchito zosiyanasiyana zama trays a silicon carbide ceramic, makapu oyamwa ndi machubu a silicon carbide ceramic. Silicon carbide ceramic trays ndi makapu oyamwa, XKH ikhoza kusinthidwa malinga ndi zosowa za makasitomala amitundu yosiyanasiyana, mawonekedwe ndi roughness pamwamba, ndikuthandizira chithandizo chapadera chophimba, kupititsa patsogolo kuvala ndi kukana kwa dzimbiri; Kwa machubu a silicon carbide ceramic, XKH amatha kusintha mitundu yosiyanasiyana yamkati, m'mimba mwake, kutalika ndi mawonekedwe ovuta (monga chubu chowoneka bwino kapena porous chubu), ndikupereka kupukuta, zokutira anti-oxidation ndi njira zina zochizira pamwamba. XKH imatsimikizira kuti makasitomala angagwiritse ntchito mokwanira ntchito zopindulitsa za silicon carbide ceramic products kuti akwaniritse zofunikira za minda yapamwamba yopanga zinthu monga semiconductors, leds ndi photovoltaics.
Chithunzi chatsatanetsatane



