SiC ceramic chuck tray Ceramic suction makapu opangira molondola
Makhalidwe a zinthu:
1. Kulimba kwambiri: kulimba kwa Mohs kwa silicon carbide ndi 9.2-9.5, yachiwiri pambuyo pa diamondi, yokhala ndi kukana kwakukulu kwa kuwonongeka.
2. Kutentha kwambiri: kutentha kwa silicon carbide kumakhala kokwera kufika pa 120-200 W/m·K, komwe kumatha kuwononga kutentha mwachangu ndipo ndikoyenera malo otentha kwambiri.
3. Kuchuluka kwa kutentha kochepa: kuchuluka kwa kutentha kwa silicon carbide ndi kochepa (4.0-4.5×10⁻⁶/K), kumathabe kukhalabe ndi kukhazikika kwa mawonekedwe ake kutentha kwambiri.
4. Kukhazikika kwa mankhwala: silicon carbide acid ndi alkali corrosion resistance, yoyenera kugwiritsidwa ntchito m'malo owononga mankhwala.
5. Mphamvu yayikulu yamakina: silicon carbide ili ndi mphamvu yopindika kwambiri komanso mphamvu yokakamiza, ndipo imatha kupirira kupsinjika kwakukulu kwamakina.
Mawonekedwe:
1. Mu makampani opanga ma semiconductor, ma wafer owonda kwambiri amafunika kuyikidwa pa kapu yoyamwa vacuum, vacuum suction imagwiritsidwa ntchito kukonza ma wafer, ndipo njira yopaka sera, kupukuta, kupukuta sera, kuyeretsa ndi kudula imachitika pa ma wafer.
2. Chotsukira cha silicon carbide chili ndi kutentha kwabwino, chimatha kufupikitsa nthawi yopaka sera ndi sera, ndikuwonjezera magwiridwe antchito opangira.
3. Chotsukira vacuum cha Silicon carbide chilinso ndi kukana bwino kwa asidi ndi alkali.
4. Poyerekeza ndi mbale yonyamulira yachikhalidwe ya corundum, kufupikitsa nthawi yokweza ndi kutsitsa kutentha ndi kuzizira, kumawonjezera magwiridwe antchito; Nthawi yomweyo, imatha kuchepetsa kuwonongeka pakati pa mbale zapamwamba ndi zapansi, kusunga kulondola kwa ndege, ndikuwonjezera moyo wautumiki ndi pafupifupi 40%.
5. Chiŵerengero cha zinthuzo ndi chochepa, chopepuka. N'zosavuta kwa ogwira ntchito kunyamula ma pallet, zomwe zimachepetsa chiopsezo cha kuwonongeka kwa kugundana komwe kumachitika chifukwa cha zovuta zoyendera ndi pafupifupi 20%.
6. Kukula: m'mimba mwake waukulu 640mm; Kusalala: 3um kapena kuchepera
Munda wofunsira:
1. Kupanga ma semiconductor
●Kukonza ma wafer:
Pofuna kukhazikika kwa wafer mu photolithography, etching, thin film deposition ndi njira zina, kuonetsetsa kuti njira zake ndi zolondola kwambiri komanso kuti zinthu zizikhala bwino. Kutentha kwake kwakukulu komanso kukana dzimbiri ndi koyenera ku malo opangira zinthu za semiconductor ovuta.
● Kukula kwa Epitaxial:
Mu kukula kwa SiC kapena GaN epitaxial, ngati chonyamulira kutentha ndi kukonza ma wafer, kuonetsetsa kuti kutentha kuli kofanana komanso khalidwe la kristalo pa kutentha kwakukulu, ndikukweza magwiridwe antchito a chipangizocho.
2. Zipangizo zamagetsi
● Kupanga Ma LED:
Amagwiritsidwa ntchito kukonza safiro kapena SiC substrate, komanso ngati chotenthetsera mu MOCVD, kuonetsetsa kuti kukula kwa epitaxial kumafanana, kupititsa patsogolo kuwala kwa LED komanso ubwino wake.
●Diode ya laser:
Monga chopangira cholondola kwambiri, chokonza ndi kutenthetsa kuti chitsimikizire kukhazikika kwa kutentha kwa ndondomeko, chimawonjezera mphamvu yotulutsa komanso kudalirika kwa laser diode.
3. Makina opangidwa mwaluso kwambiri
●Kukonza zinthu zowunikira:
Imagwiritsidwa ntchito pokonza zinthu zolondola monga magalasi owonera ndi zosefera kuti zitsimikizire kuti zinthuzo ndi zolondola kwambiri komanso kuti sizikuipitsidwa kwambiri panthawi yokonza, ndipo ndi yoyenera kugwiritsa ntchito makina amphamvu kwambiri.
●Kukonza zinthu pogwiritsa ntchito ceramic:
Monga chogwirira chokhazikika kwambiri, ndi choyenera kupangira zinthu zadothi molondola kuti zitsimikizire kuti makinawo ndi olondola komanso osasunthika pansi pa kutentha kwambiri komanso malo owononga.
4. Kuyesera kwa sayansi
●Kuyesera kutentha kwambiri:
Monga chipangizo chokonzera zitsanzo m'malo otentha kwambiri, chimathandizira kuyesa kutentha kwambiri kuposa 1600°C kuti zitsimikizire kuti kutentha kuli kofanana komanso kukhazikika kwa zitsanzo.
●Kuyesa kwa vacuum:
Monga chonyamulira chokonzera ndi chotenthetsera chitsanzo m'malo osungira vacuum, kuti zitsimikizire kulondola ndi kubwerezabwereza kwa kuyeseraku, koyenera kuphimba vacuum ndi kutentha.
Mafotokozedwe aukadaulo:
| (Katundu wa zinthu) | (Chigawo) | (ssic) | |
| (Zomwe zili mu SiC) |
| (Kulemera)% | >99 |
| (Kukula kwa tirigu wapakati) |
| maikuloni | 4-10 |
| (Kuchulukana) |
| kg/dm3 | >3.14 |
| (Kuoneka ngati porosity) |
| Vo1% | <0.5 |
| (Kuuma kwa Vickers) | HV 0.5 | GPa | 28 |
| *( Mphamvu yopindika) | 20ºC | MPa | 450 |
| (Mphamvu yokakamiza) | 20ºC | MPa | 3900 |
| (Modulus Yotanuka) | 20ºC | GPa | 420 |
| (Kulimba kwa kusweka) |
| MPa/m'% | 3.5 |
| (Kutentha kwa kutentha) | 20°ºC | W/(m*K) | 160 |
| (Kulimba mtima) | 20°ºC | Ohm.cm | 106-108 |
|
| a(RT**...80ºC) | K-1*10-6 | 4.3 |
|
|
| oºC | 1700 |
Ndi zaka zambiri zosonkhanitsa ukadaulo komanso luso la mafakitale, XKH imatha kusintha magawo ofunikira monga kukula, njira yotenthetsera ndi kapangidwe ka vacuum adsorption ya chuck malinga ndi zosowa za kasitomala, kuonetsetsa kuti chinthucho chasinthidwa bwino kuti chigwirizane ndi njira ya kasitomala. Ma chuck a SiC silicon carbide ceramic akhala zinthu zofunika kwambiri pakukonza wafer, kukula kwa epitaxial ndi njira zina zofunika chifukwa cha kutentha kwawo kwabwino, kukhazikika kwa kutentha kwambiri komanso kukhazikika kwa mankhwala. Makamaka popanga zipangizo za semiconductor za m'badwo wachitatu monga SiC ndi GaN, kufunikira kwa ma chuck a silicon carbide ceramic kukupitilira kukula. M'tsogolomu, ndi chitukuko chachangu cha 5G, magalimoto amagetsi, luntha lochita kupanga ndi ukadaulo wina, mwayi wogwiritsa ntchito ma chuck a silicon carbide ceramic mumakampani a semiconductor udzakhala wokulirapo.
Chithunzi Chatsatanetsatane
