paChikwatu
1. Mfundo Zazikulu ndi Ziyeso
2. Njira Zoyezera
3.Kukonza Deta ndi Zolakwika
4. Zotsatira za Njira
Mu kupanga ma semiconductor, kufanana kwa makulidwe ndi kusalala kwa pamwamba pa ma wafer ndi zinthu zofunika kwambiri zomwe zimakhudza kuchuluka kwa njira zopangira. Zinthu zazikulu monga Total Thickness Variation (TTV), Bow (arcuate warpage), Warp (global warpage), ndi Microwarp (nano-topography) zimakhudza mwachindunji kulondola ndi kukhazikika kwa njira zapakati monga photolithography focus, chemical mechanical polishing (CMP), ndi thin-film deposition.
Malingaliro ndi Ziyerekezo Zapakati
Kusiyanasiyana kwa Kunenepa Konse (TTV)
TTV imatanthauza kusiyana kwakukulu kwa makulidwe pamwamba pa wafer yonse mkati mwa dera loyezera lodziwika bwino la Ω (nthawi zambiri osaphatikiza madera olekanitsidwa ndi m'mphepete ndi madera omwe ali pafupi ndi malo otsetsereka kapena osalala). Mwa masamu, TTV = max(t(x,y)) – min(t(x,y)). Imayang'ana kwambiri kufanana kwa makulidwe amkati mwa wafer substrate, mosiyana ndi kukhwima kwa pamwamba kapena kufanana kwa filimu yopyapyala.
Uta Uta umafotokoza kupatuka kolunjika kwa malo apakati a wafer kuchokera ku malo ofunikira omwe ali ndi masikweya ochepa. Mitengo yabwino kapena yoipa imasonyeza kupindika kwapadziko lonse mmwamba kapena pansi.
Kupindika
Kupindika kumawerengera kusiyana kwakukulu pakati pa peak ndi chigwa pa malo onse pamwamba poyerekeza ndi malo ofunikira, poyesa kusalala kwa wafer yonse mu mkhalidwe womasuka.
Microwarp
Microwarp (kapena nanotopography) imafufuza ma micro-undulations pamwamba pa nthaka mkati mwa mafunde enieni a spatial wavelength (monga, 0.5–20 mm). Ngakhale kuti ma amplitude ndi ang'onoang'ono, kusiyana kumeneku kumakhudza kwambiri kuya kwa focus ya lithography (DOF) ndi kufanana kwa CMP.
pa
Chikhazikitso cha Kuyeza
Miyeso yonse imawerengedwa pogwiritsa ntchito geometric baseline, nthawi zambiri imakhala ndi malo okwana masikweya (LSQ plane). Miyeso ya makulidwe imafuna kulinganiza deta yakutsogolo ndi yakumbuyo kudzera m'mphepete mwa wafer, notches, kapena zizindikiro zolinganiza. Kusanthula kwa microwarp kumaphatikizapo kusefa malo kuti muchotse zigawo zokhudzana ndi kutalika kwa mafunde.
Njira Zoyezera
1. Njira Zoyezera za TTV
- Profilometry ya Pamwamba Pawiri
- Fizeau Interferometry:Imagwiritsa ntchito malekezero osokoneza pakati pa malo owonetsera ndi pamwamba pa wafer. Yoyenera malo osalala koma yochepetsedwa ndi ma wafer akuluakulu.
- Kusanthula kwa Kuwala Koyera (SWLI):Imayesa kutalika konse pogwiritsa ntchito ma envulopu a kuwala osagwirizana kwambiri. Imathandiza pamalo ofanana ndi masitepe koma imachepetsedwa ndi liwiro la makina ojambulira.
- Njira Zobisika:Pezani mphamvu ya sub-micron kudzera mu pinhole kapena mfundo zofalikira. Zabwino kwambiri pamalo osalala kapena owala koma pang'onopang'ono chifukwa cha kusanthula mfundo ndi mfundo.
- Kujambula kwa Laser Triangulation:Kuyankha mwachangu koma kutayika kolondola chifukwa cha kusintha kwa mawonekedwe a pamwamba.
- Kulumikizana kwa Transmission/Reflection
- Masensa Okhala ndi Mitu Yawiri: Kuyika kwa masensa mbali zonse ziwiri kumayesa makulidwe monga T = L – d₁ – d₂ (L = mtunda woyambira). Mwachangu koma wosavuta kutengera zinthu.
- Ellipsometry/Spectroscopic Reflectometry: Imasanthula momwe kuwala kumagwirira ntchito kuti ione makulidwe a filimu yopyapyala koma sikoyenera kugwiritsa ntchito TTV yochuluka.
2. Kuyeza kwa Uta ndi Kupindika
- Ma Multi-Probe Capacitance Arrays: Jambulani deta yonse kutalika kwa mtunda pa siteji yonyamula mpweya kuti mupangenso 3D mwachangu.
- Kuwonetsera Kuwala Kokonzedwa: Kujambula zithunzi za 3D mwachangu pogwiritsa ntchito mawonekedwe a kuwala.
- Interferometry Yotsika: Mapu a pamwamba omwe ali ndi mawonekedwe apamwamba koma ogwirizana ndi kugwedezeka.
3. Kuyeza kwa Microwarp
- Kusanthula kwa Mafupipafupi a Malo:
- Pezani malo okhala ndi mawonekedwe apamwamba kwambiri.
- Kuchuluka kwa mphamvu ya spectral (PSD) pogwiritsa ntchito 2D FFT.
- Ikani zosefera za bandpass (monga, 0.5–20 mm) kuti muchotse mafunde ofunikira.
- Werengani ma RMS kapena PV kuchokera ku deta yosefedwa.
- Kuyerekezera kwa Vacuum Chuck:Zotsatira zofananira zenizeni zogwirira ntchito panthawi ya lithography.
Kukonza Deta ndi Magwero a Zolakwika
Njira Yogwirira Ntchito
- TV:Konzani ma coordinates a kutsogolo/kumbuyo, yesani kusiyana kwa makulidwe, ndikuchotsa zolakwika zadongosolo (monga kutentha).
- paUta/Kupindika:Ikani mtunda wa LSQ pa deta ya kutalika; Uta = malo otsala pakati, Mzere wopingasa = malo otsala a pamwamba mpaka kuchigwa.
- paMicrowarp:Sefa ma frequency a malo, werengera ziwerengero (RMS/PV).
Magwero Olakwika Ofunika
- Zinthu Zachilengedwe:Kugwedezeka (kofunikira kwambiri pa interferometry), kugwedezeka kwa mpweya, kutentha.
- Zoletsa za Sensor:Phokoso la gawo (interferometry), zolakwika zowerengera kutalika kwa mafunde (confocal), mayankho odalira zinthu (capacitance).
- Kugwira Ntchito Yophika:Kusalinganika bwino kwa m'mphepete, kusalondola kwa siteji yoyenda posoka.
Zotsatira pa Kufunika kwa Njira
- Lithography:Microwarp yapafupi imachepetsa DOF, zomwe zimayambitsa kusintha kwa ma CD ndi zolakwika zoyika pamwamba.
- CMP:Kusalinganika koyamba kwa TTV kumabweretsa kupanikizika kosafanana kwa kupukuta.
- Kusanthula Kupsinjika Maganizo:Kusintha kwa Bow/Warp kumasonyeza khalidwe la kutentha/makina opsinjika.
- Phukusi:Kuchuluka kwa TTV kumapanga mipata mu ma bonding interfaces.
Wafer wa Sapphire wa XKH
Nthawi yotumizira: Sep-28-2025