Kukulitsa wosanjikiza wowonjezera wa maatomu a silicon pagawo la silicon wafer kuli ndi zabwino zingapo:
Mu njira za silicon za CMOS, kukula kwa epitaxial (EPI) pagawo lophika ndi gawo lofunikira kwambiri.
1, Kupititsa patsogolo khalidwe la kristalo
Zowonongeka zoyamba za gawo lapansi ndi zonyansa: Panthawi yopangira, gawo laling'ono lawafa likhoza kukhala ndi zolakwika zina ndi zonyansa. Kukula kwa epitaxial wosanjikiza kumatha kutulutsa wosanjikiza wapamwamba kwambiri wa monocrystalline silicon wokhala ndi zofooka zochepa komanso zonyansa pagawo laling'ono, zomwe ndizofunikira kwambiri pakupangira zida zotsatizana.
Kapangidwe ka kristalo kofanana: Kukula kwa Epitaxial kumatsimikizira mawonekedwe a kristalo wofananira, kuchepetsa kukhudzidwa kwa malire a tirigu ndi zolakwika mu gawo lapansi, potero kumapangitsa kuti kristaloyo ikhale yabwino kwambiri.
2, kupititsa patsogolo ntchito zamagetsi.
Kupititsa patsogolo mawonekedwe a chipangizo: Pakukula kwa epitaxial wosanjikiza pa gawo lapansi, ndende ya doping ndi mtundu wa silicon zitha kuyendetsedwa bwino, ndikuwongolera magwiridwe antchito amagetsi a chipangizocho. Mwachitsanzo, doping wa epitaxial wosanjikiza angasinthidwe bwino kuti athe kuwongolera mphamvu ya MOSFET ndi magawo ena amagetsi.
Kuchepetsa kutayikira kwapano: Wosanjikiza wapamwamba kwambiri wa epitaxial amakhala ndi kachulukidwe kakang'ono, komwe kamathandizira kuchepetsa kutayikira kwamagetsi pazida, potero kumathandizira magwiridwe antchito ndi kudalirika kwa chipangizocho.
3, kukonza mphamvu zamagetsi.
Kuchepetsa Kukula Kwamawonekedwe: M'malo ang'onoang'ono (monga 7nm, 5nm), kukula kwa zida kumapitilira kuchepa, kumafunikira zida zoyengedwa komanso zapamwamba kwambiri. Tekinoloje yakukula kwa Epitaxial imatha kukwaniritsa zofunidwazi, kuthandizira kupanga mabwalo ophatikizika apamwamba kwambiri komanso osalimba kwambiri.
Kupititsa patsogolo Kuwonongeka kwa Voltage: Magawo a Epitaxial amatha kupangidwa ndi ma voltages apamwamba kwambiri, omwe ndi ofunikira kwambiri popanga zida zamphamvu kwambiri komanso zamagetsi. Mwachitsanzo, pazida zamagetsi, zigawo za epitaxial zimatha kusintha mphamvu yamagetsi ya chipangizocho, ndikuwonjezera kuchuluka kwa magwiridwe antchito otetezeka.
4, Kugwirizana kwa Ntchito ndi Zomangamanga Zambiri
Maonekedwe a Multilayer: Ukadaulo wa kukula kwa Epitaxial umalola kukula kwamitundu yambiri pamagawo, okhala ndi magawo osiyanasiyana okhala ndi mitundu yosiyanasiyana ya doping. Izi ndizopindulitsa kwambiri popanga zida zovuta za CMOS ndikupangitsa kuphatikiza kwamitundu itatu.
Kugwirizana: Ndondomeko ya kukula kwa epitaxial imagwirizana kwambiri ndi njira zopangira CMOS zomwe zilipo kale, zomwe zimapangitsa kuti zikhale zosavuta kuphatikizira mumayendedwe amakono opangira ntchito popanda kufunikira kwa kusintha kwakukulu kwa mizere ya ndondomeko.
Mwachidule: Kugwiritsa ntchito kukula kwa epitaxial munjira za silicon ya CMOS makamaka kumafuna kupititsa patsogolo mtundu wa kristalo wawafer, kukhathamiritsa magwiridwe antchito amagetsi a chipangizocho, kuthandizira ma node otsogola, ndikukwaniritsa zofunikira pakupanga makina ophatikizika apamwamba kwambiri komanso osalimba kwambiri. Tekinoloje ya kukula kwa Epitaxial imalola kuwongolera bwino kwa doping ndi kapangidwe kazinthu, kuwongolera magwiridwe antchito ndi kudalirika kwa zida.
Nthawi yotumiza: Oct-16-2024