Kupanga maatomu ena a silicon pa silicon wafer substrate kuli ndi ubwino wambiri:
Mu njira za silicon za CMOS, kukula kwa epitaxial (EPI) pa gawo la wafer ndi gawo lofunika kwambiri.
1, Kukweza khalidwe la kristalo
Zolakwika ndi zodetsa zoyamba za substrate: Panthawi yopanga, substrate ya wafer ikhoza kukhala ndi zodetsa zinazake. Kukula kwa epitaxial layer kumatha kupanga monocrystalline silicon layer yapamwamba kwambiri yokhala ndi zodetsa zochepa komanso zodetsa pa substrate, zomwe ndizofunikira kwambiri popanga chipangizo chotsatira.
Kapangidwe ka kristalo kofanana: Kukula kwa Epitaxial kumatsimikizira kapangidwe ka kristalo kofanana, kuchepetsa mphamvu ya malire a tirigu ndi zolakwika muzinthu zapansi, motero kumakweza mtundu wonse wa kristalo wa wafer.
2, kusintha magwiridwe antchito amagetsi.
Kukonza makhalidwe a chipangizo: Mwa kukulitsa gawo la epitaxial pa substrate, kuchuluka kwa doping ndi mtundu wa silicon zitha kulamulidwa bwino, zomwe zimapangitsa kuti chipangizocho chigwire bwino ntchito. Mwachitsanzo, doping ya gawo la epitaxial ikhoza kusinthidwa bwino kuti ilamulire mphamvu ya MOSFET ndi magawo ena amagetsi.
Kuchepetsa mphamvu yotulutsira madzi: Chigawo cha epitaxial chapamwamba kwambiri chili ndi kachulukidwe kochepa ka chilema, zomwe zimathandiza kuchepetsa mphamvu yotulutsira madzi mu zipangizo, motero zimathandizira magwiridwe antchito ndi kudalirika kwa chipangizocho.
3, kusintha magwiridwe antchito amagetsi.
Kuchepetsa Kukula kwa Mbali: Mu ma node ang'onoang'ono a process (monga 7nm, 5nm), kukula kwa mbali za zipangizo kumapitirira kuchepa, kumafuna zipangizo zokonzedwa bwino komanso zapamwamba. Ukadaulo wa kukula kwa Epitaxial ukhoza kukwaniritsa zosowa izi, kuthandizira kupanga ma circuits ogwirizana omwe amagwira ntchito bwino komanso olemera kwambiri.
Kuonjezera Voliyumu Yowonongeka: Magawo a Epitaxial amatha kupangidwa ndi ma voltage okwera kwambiri, zomwe ndizofunikira kwambiri popanga zida zamagetsi amphamvu komanso zamagetsi amphamvu. Mwachitsanzo, mu zida zamagetsi, magawo a epitaxial amatha kukweza voliyumu yowonongeka ya chipangizocho, ndikuwonjezera magwiridwe antchito otetezeka.
4, Kugwirizana kwa Njira ndi Kapangidwe ka Zigawo Zambiri
Kapangidwe ka Zigawo Zambiri: Ukadaulo wa kukula kwa Epitaxial umalola kukula kwa kapangidwe ka zigawo zambiri pazigawo, ndi zigawo zosiyanasiyana zokhala ndi kuchuluka kosiyanasiyana kwa doping ndi mitundu. Izi ndizothandiza kwambiri popanga zipangizo zovuta za CMOS ndikulola kuphatikiza kwa magawo atatu.
Kugwirizana: Njira yokulira ya epitaxial imagwirizana kwambiri ndi njira zomwe zilipo zopangira CMOS, zomwe zimapangitsa kuti zikhale zosavuta kuphatikiza mu ntchito zopangira zomwe zilipo popanda kufunikira kusintha kwakukulu pamizere ya njira.
Chidule: Kugwiritsa ntchito kukula kwa epitaxial mu njira za silicon za CMOS cholinga chake chachikulu ndikukweza mtundu wa kristalo wa wafer, kukonza magwiridwe antchito amagetsi a chipangizocho, kuthandizira ma node apamwamba, ndikukwaniritsa zofunikira za kupanga ma circuit ophatikizika bwino komanso ochulukirapo. Ukadaulo wakukula kwa Epitaxial umalola kuwongolera molondola kugwiritsa ntchito doping ndi kapangidwe ka zinthu, kukonza magwiridwe antchito onse ndi kudalirika kwa zida.
Nthawi yotumizira: Okutobala-16-2024