Ndi chitukuko chopitilira cha ukadaulo wa semiconductor, mumakampani opanga ma semiconductor komanso ngakhale makampani opanga ma photovoltaic, zofunikira pamtundu wa pamwamba pa wafer substrate kapena epitaxial sheet nazonso ndi zokhwima kwambiri. Ndiye, kodi zofunikira pamtundu wa wafer ndi ziti?chikwama cha safiroMwachitsanzo, ndi zizindikiro ziti zomwe zingagwiritsidwe ntchito poyesa ubwino wa pamwamba pa ma wafer?
Kodi zizindikiro zowunikira ma wafers ndi ziti?
Zizindikiro zitatu
Pa ma wafer a safiro, zizindikiro zake zowunikira ndi kupotoka kwa makulidwe (TTV), kupindika (Bow) ndi Warp (Warp). Magawo atatuwa pamodzi amawonetsa kufanana kwa kusalala ndi makulidwe a wafer wa silicon, ndipo amatha kuyeza kuchuluka kwa ripple ya wafer. Corrugation ikhoza kuphatikizidwa ndi kusalala kuti iwone mtundu wa pamwamba pa wafer.
Kodi TTV, BOW, ndi Warp ndi chiyani?
TTV (Kusiyana kwa Kukhuthala Konse)
TTV ndi kusiyana pakati pa makulidwe apamwamba ndi ochepera a wafer. Gawoli ndi chizindikiro chofunikira chomwe chimagwiritsidwa ntchito poyesa kufanana kwa makulidwe a wafer. Mu njira ya semiconductor, makulidwe a wafer ayenera kukhala ofanana kwambiri pamwamba ponse. Miyeso nthawi zambiri imapangidwa m'malo asanu pa wafer ndipo kusiyana kumawerengedwa. Pomaliza, mtengo uwu ndi maziko ofunikira poyesa mtundu wa wafer.
Uta
Uta mu kupanga ma semiconductor umatanthauza kupindika kwa wafer, kumasula mtunda pakati pa pakati pa wafer wosaphimbidwa ndi malo ofotokozera. Mawuwa mwina amachokera ku kufotokoza mawonekedwe a chinthu chikapindika, monga mawonekedwe opindika a uta. Mtengo wa Uta umatanthauzidwa poyesa kusiyana pakati pa pakati ndi m'mphepete mwa wafer wa silicon. Mtengo uwu nthawi zambiri umafotokozedwa mu ma micrometer (µm).
Kupindika
Warp ndi chizindikiro cha padziko lonse cha ma wafer omwe amayesa kusiyana pakati pa mtunda wapamwamba ndi wocheperako pakati pa pakati pa wafer wosatsegulidwa bwino ndi malo owonetsera. Amayimira mtunda kuchokera pamwamba pa wafer wa silicon kupita ku ndege.
Kodi kusiyana pakati pa TTV, Bow, ndi Warp ndi kotani?
TTV imayang'ana kwambiri kusintha kwa makulidwe ndipo siili ndi nkhawa ndi kupindika kapena kupotoka kwa wafer.
Uta umayang'ana kwambiri pa kupindika konse, makamaka poganizira kupindika kwa mfundo yapakati ndi m'mphepete.
Kupindika kumakhala kokwanira, kuphatikizapo kupindika ndi kupotoza pamwamba pa wafer yonse.
Ngakhale magawo atatuwa akugwirizana ndi mawonekedwe ndi mawonekedwe a silicon wafer, amayesedwa ndi kufotokozedwa mosiyana, ndipo momwe amakhudzira njira ya semiconductor ndi kukonza wafer ndizosiyana.
Zigawo zitatuzi zikachepa, zimakhala bwino, ndipo gawoli likakula, zotsatira zake zimakhala zoipa kwambiri pa njira ya semiconductor. Chifukwa chake, monga katswiri wa semiconductor, tiyenera kuzindikira kufunika kwa magawo a wafer profile pa njira yonse ya ndondomekoyi, kuchita njira ya semiconductor, komanso kusamala kwambiri za tsatanetsatane.
(kuletsa)
Nthawi yotumizira: Juni-24-2024