Kumvetsetsa Kwambiri kwa Dongosolo la SPC mu Kupanga Ma Wafer

1. Chidule cha Dongosolo la SPC

SPC ndi njira yomwe imagwiritsa ntchito njira zowerengera kuti iwunikire ndikuwongolera njira zopangira. Ntchito yake yayikulu ndikuzindikira zolakwika pakupanga mwa kusonkhanitsa ndi kusanthula deta yeniyeni, kuthandiza mainjiniya kupanga zosintha ndi zisankho panthawi yake. Cholinga cha SPC ndikuchepetsa kusinthasintha kwa njira zopangira, kuonetsetsa kuti mtundu wa malonda ukukhalabe wokhazikika komanso wokwaniritsa zofunikira.

SPC imagwiritsidwa ntchito podula:

Yang'anirani magawo ofunikira a zida (monga, kuchuluka kwa etch, mphamvu ya RF, kuthamanga kwa chipinda, kutentha, ndi zina zotero)

Unikani zizindikiro zazikulu za khalidwe la chinthu (monga, m'lifupi mwa mzere, kuya kwa etch, kukhwima kwa m'mphepete, ndi zina zotero)

Mwa kuyang'anira magawo awa, mainjiniya amatha kuzindikira zomwe zikuchitika zomwe zikusonyeza kuwonongeka kwa magwiridwe antchito a zida kapena kupotoka pakupanga, motero kuchepetsa kuchuluka kwa zinyalala.

2. Zigawo Zoyambira za SPC System

Dongosolo la SPC limapangidwa ndi ma module angapo ofunikira:

Gawo Losonkhanitsira Deta: Limasonkhanitsa deta yeniyeni kuchokera ku zida ndi njira zoyendetsera ntchito (monga, kudzera mu FDC, machitidwe a EES) ndikulemba magawo ofunikira ndi zotsatira za kupanga.

Gawo la Tchati Chowongolera: Limagwiritsa ntchito matchati owongolera ziwerengero (monga tchati cha X-Bar, tchati cha R, tchati cha Cp/Cpk) kuti liwone kukhazikika kwa njira ndikuthandizira kudziwa ngati njirayo ikulamulira.

Dongosolo la Alamu: Limayambitsa ma alamu pamene magawo ofunikira akupitirira malire olamulira kapena akuwonetsa kusintha kwa zomwe zikuchitika, zomwe zimapangitsa mainjiniya kuchitapo kanthu.

Gawo Losanthula ndi Kupereka Malipoti: Limafufuza chomwe chimayambitsa zolakwika kutengera ma chart a SPC ndipo nthawi zonse limapanga malipoti a magwiridwe antchito a ndondomekoyi ndi zida zake.

3. Kufotokozera Mwatsatanetsatane kwa Matchati Olamulira mu SPC

Matchati owongolera ndi chimodzi mwa zida zomwe zimagwiritsidwa ntchito kwambiri mu SPC, zomwe zimathandiza kusiyanitsa pakati pa "kusinthasintha kwabwinobwino" (komwe kumachitika chifukwa cha kusintha kwachilengedwe kwa njira) ndi "kusinthasintha kosazolowereka" (komwe kumachitika chifukwa cha kulephera kwa zida kapena kusokonekera kwa njira). Matchati owongolera wamba ndi awa:

Ma chart a X-Bar ndi R: Amagwiritsidwa ntchito poyang'anira apakati ndi kuchuluka kwa zinthu zomwe zimapangidwira kuti aone ngati njirayo ili yokhazikika.

Zizindikiro za Cp ndi Cpk: Zimagwiritsidwa ntchito poyesa kuthekera kwa njira, mwachitsanzo, ngati zotsatira za njira zitha kukwaniritsa zofunikira za njira. Cp imayesa kuthekera kwa njira, pomwe Cp imaganizira kupatuka kwa malo ogwirira ntchito kuchokera ku malire a njira.

Mwachitsanzo, mu ndondomeko yocheka, mutha kuyang'anira magawo monga kuchuluka kwa etch ndi kuuma kwa pamwamba. Ngati kuchuluka kwa etch kwa chipangizo china kupitirira malire olamulira, mutha kugwiritsa ntchito ma chart owongolera kuti mudziwe ngati izi ndi kusintha kwachilengedwe kapena chizindikiro cha kulephera kwa chipangizocho.

4. Kugwiritsa ntchito SPC mu Zipangizo Zokongoletsa

Mu ndondomeko yocheka, kuwongolera magawo a zida ndikofunikira kwambiri, ndipo SPC imathandizira kukonza kukhazikika kwa njira m'njira zotsatirazi:

Kuwunika Mkhalidwe wa Zipangizo: Machitidwe monga FDC amasonkhanitsa deta yeniyeni pazigawo zofunika kwambiri za zida zolembera (monga mphamvu ya RF, kuyenda kwa mpweya) ndikusakaniza deta iyi ndi ma chart owongolera a SPC kuti azindikire mavuto omwe angakhalepo pazida. Mwachitsanzo, ngati muwona kuti mphamvu ya RF pa tchati yowongolera ikuchoka pang'onopang'ono pamtengo womwe wakhazikitsidwa, mutha kuchitapo kanthu koyambirira kuti musinthe kapena kukonza kuti mupewe kusokoneza mtundu wa chinthucho.

Kuwunika Ubwino wa Zamalonda: Muthanso kuyika magawo ofunikira a khalidwe la malonda (monga kuya kwa etch, m'lifupi mwa mzere) mu dongosolo la SPC kuti muwone kukhazikika kwawo. Ngati zizindikiro zina zofunika kwambiri za malonda zikusiyana pang'onopang'ono ndi zomwe mukufuna, dongosolo la SPC lidzapereka alamu, kusonyeza kuti kusintha kwa njira ndikofunikira.

Kusamalira Koteteza (PM): SPC ingathandize kukonza bwino nthawi yosamalira zida. Mwa kusanthula deta ya nthawi yayitali pa momwe zida zimagwirira ntchito komanso zotsatira zake, mutha kudziwa nthawi yoyenera yosamalira zida. Mwachitsanzo, poyang'anira mphamvu ya RF ndi nthawi ya ESC, mutha kudziwa nthawi yomwe kuyeretsa kapena kusintha kwa zigawo kukufunika, kuchepetsa kuchuluka kwa kulephera kwa zida komanso nthawi yogwira ntchito.

5. Malangizo Ogwiritsira Ntchito SPC System Tsiku ndi Tsiku

Mukagwiritsa ntchito njira ya SPC tsiku ndi tsiku, njira zotsatirazi zitha kutsatiridwa:

Tanthauzirani Ma Key Control Parameters (KPI): Dziwani magawo ofunikira kwambiri pakupanga ndikuwaphatikiza mu kuwunika kwa SPC. Magawo awa ayenera kukhala okhudzana kwambiri ndi khalidwe la malonda ndi magwiridwe antchito a zida.

Ikani Malire Olamulira ndi Malire a Alamu: Kutengera deta yakale ndi zofunikira pa njira, ikani malire oyenera olamulira ndi malire a alamu pa gawo lililonse. Malire olamulira nthawi zambiri amaikidwa pa ±3σ (zosiyana zomwe zimachitika), pomwe malire a alamu amachokera pa mikhalidwe yeniyeni ya njira ndi zida.

Kuwunika ndi Kusanthula Kosalekeza: Unikaninso ma chart owongolera a SPC nthawi zonse kuti muwunike momwe deta ikuyendera komanso kusiyanasiyana kwake. Ngati magawo ena apitirira malire owongolera, pamafunika kuchitapo kanthu mwachangu, monga kusintha magawo a zida kapena kukonza zida.

Kusamalira Zosazolowereka ndi Kusanthula Chifukwa Chake: Pakachitika vuto, dongosolo la SPC limalemba zambiri zokhudza chochitikacho. Muyenera kuthetsa ndikuwunika chomwe chayambitsa vutoli kutengera izi. Nthawi zambiri n'zotheka kuphatikiza deta kuchokera ku machitidwe a FDC, machitidwe a EES, ndi zina zotero, kuti muwone ngati vutoli likuchitika chifukwa cha kulephera kwa zida, kusokonekera kwa njira, kapena zinthu zina zachilengedwe.

Kusintha Kosalekeza: Pogwiritsa ntchito deta yakale yolembedwa ndi dongosolo la SPC, zindikirani zofooka mu ndondomekoyi ndikupereka mapulani okonzanso. Mwachitsanzo, mu ndondomeko yodula, fufuzani momwe moyo wa ESC ndi njira zotsukira zimakhudzira nthawi yosamalira zida ndikukonza nthawi zonse magawo ogwiritsira ntchito zida.

6. Nkhani Yogwiritsira Ntchito Mwanzeru

Mwachitsanzo, tiyerekeze kuti ndinu amene mumayang'anira zida zoyeretsera za E-MAX, ndipo cathode ya chipinda ikuwonongeka msanga, zomwe zimapangitsa kuti kuchuluka kwa D0 (BARC defect) kukwere. Mukayang'anira mphamvu ya RF ndi kuchuluka kwa etch kudzera mu SPC system, mumawona chizolowezi chomwe magawo awa amasiyana pang'onopang'ono ndi zomwe adakhazikitsa. Pambuyo poti alamu ya SPC yayatsidwa, mumaphatikiza deta kuchokera ku FDC system ndikuwona kuti vutoli layamba chifukwa cha kutentha kosakhazikika mkati mwa chipinda. Kenako mumagwiritsa ntchito njira zatsopano zoyeretsera ndi njira zosamalira, pamapeto pake mumachepetsa mtengo wa D0 kuchokera pa 4.3 kufika pa 2.4, potero mukuwongolera mtundu wa malonda.

7. Mu XINKEHUI mungapeze.

Ku XINKEHUI, mutha kupeza wafer wabwino kwambiri, kaya ndi wafer wa silicon kapena SiC. Timapereka ma wafer apamwamba kwambiri m'mafakitale osiyanasiyana, poganizira kwambiri kulondola ndi magwiridwe antchito.